중국 랑다오, EUV 광원 시제품 공개

테크 · 2026-10-17 · Tom's Hardware

중국 스타트업 랑다오 사이렉스가 극자외선(EUV) 노광용 광원 시제품을 공개했다. 출력은 15W 이상으로 대량생산에는 크게 못 미치는 수준이며, 상용화까지 3~5년이 더 걸릴 전망이다.

중국 스타트업 랑다오 사이렉스(Langdao Silex)가 상하이에서 열린 중국국제공업박람회에서 극자외선(EUV) 노광용 광원 시제품을 선보였다. 2024년 칭화대 가스방전플라즈마 연구실 출신 인사들이 세운 회사로, 전시장에서 점등 시연은 하지 않았다. 상용화까지는 3~5년이 더 필요하다고 회사 측은 밝혔다.

FlintNano LPP-OXXO로 명명된 이 시스템은 ASML의 현행 광원과 같은 레이저 생성 플라즈마(LPP) 방식이다. 1,000W 구동 레이저를 1kHz~20kHz로 조사해 변환효율 2% 초과, EUV 출력 15W 이상을 구현했다고 회사는 설명했다. 100시간 이상 연속 가동과 플라즈마 안정성 3% RMS, 출력 안정성 5%도 내세웠으나 외부 검증은 이뤄지지 않았다. 고출력 모델인 FlintMicro-LPP는 원리 검증을 마쳤다지만 출력과 효율, 수명은 공개하지 않았다.

15W 수준은 노광 실험에는 쓸 수 있지만 대량생산용 장비에는 턱없이 부족하다. ASML은 2018~2019년 250W급 광원을 상용화했고 이후에는 이보다 훨씬 높은 출력을 확보했다. 그보다 앞선 초기 NXE:3400 시리즈에는 125W~150W급 광원이 탑재됐다. 부품 국산화율 90%도 개수 기준인지 금액 기준인지 설명이 없어 의미를 따져봐야 한다.

광원만으로 EUV 노광장비를 만들 수는 없다. 집광·조명 광학계와 고정밀 다층거울, 웨이퍼·레티클 스테이지, 오버레이 정밀도, 시스템 통합이 추가로 필요하지만 이들 공급망은 중국에 사실상 없다. 광원 출력을 대량생산 수준까지 끌어올리더라도 중국산 EUV 노광장비가 곧바로 등장한다고 보기는 어렵다.